VELDHOVEN (ANP) – ASML sleept zijn Japanse branchegenoot Nikon voor de rechter omdat die inbreuk zou hebben gemaakt op meer dan tien patenten van de chipmachinefabrikant. Dat liet de onderneming vrijdag weten. Nikon kondigde eerder deze week juist juridische stappen aan tegen ASML.
Het Veldhovense technologiebedrijf heeft zijn tegenclaims neergelegd bij een rechter in Japan, en is van plan hetzelfde te doen in de Verenigde Staten. Het trekt samen op met zijn belangrijkste lenzenleverancier Carl Zeiss, die eveneens door Nikon voor de rechter is gedaagd.
Nikon beschuldigt ASML en Zeiss van onrechtmatig gebruik van zogenoemde immersietechnologie. Daarbij wordt de lichtbundel waarmee schakelingen worden geëtst op plakjes halfgeleidermateriaal, nog scherper gesteld met behulp van een laagje vloeistof.
